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用于C4F6・C5F8・COS的检测器 TP-70DGⅡ
特征
通过采用含有催化剂的热分解器,实现减少干扰带来的影响用途
用于检测半导体工厂内的C4F6/C5F8/COS商品目录
产品类别 |
固定式 |
类型 |
智能型检测部 |
检测对象气体 |
C4F6/C5F8/COS |
检测原理 |
催化+定电位电解式 |
检测范围 |
0~5ppm(C4F6・C5F8) |
报警设定值 |
1st:2ppm/2nd:4ppm(C4F6・C5F8) |
检测方式 |
泵吸式 |
报警种类 |
气体报警/故障报警 |
报警内容 |
1st:ALM1指示灯闪烁、或亮灯(红色) |
电源 |
AC100~240V±10% |
外形尺寸・重量 |
约180(W)×225(H)×285(D)mm(不包含突起部分) |
使用时的温湿度范围 |
20~40℃(无骤变) |